CMPスラリーリサイクルシステム

CMPスラリーリサイクルシステム

スラリー再生のコスト、品質、環境など、全てについてメリットを提供いたします。

酸化膜用CMPスラリーで、シリカ系をお使いの方へ朗報です!
貴社使用済み、酸化膜用スラリーの再生業務は、私たちに委託下さい。
CMP酸化膜スラリーのリサイクルシステムの開発・導入により、
シリカ系スラリーはすでに事業化に成功し、
使用スラリー費用の大幅なコストダウンを達成、
洗浄用純水を含めた廃液の環境対策にも大きく貢献しています。

CMPスラリーリサイクルシステムの概要と導入メリット

  • シリカ系スラリーをご使用の企業様、スラリー費用を30%以上、大幅に低減できます!
  • スラリー廃液量を10〜20%にしませんか! (廃液スラッジの80〜90%の削減)

商標登録

エコスラリー
弊社が開発したCMPスラリーリサイクルシステムは
独創的かつ環境にも配慮された技術として
各方面より高い評価を頂いております。
「エコ・スラリー」“Eco Slurry”のブランド名で、
商標権を登録済みです。