スラリー再生のコスト、品質、環境など、全てについてメリットを提供いたします。
酸化膜用CMPスラリーで、シリカ系をお使いの方へ朗報です! 貴社使用済み、酸化膜用スラリーの再生業務は、私たちに委託下さい。 CMP酸化膜スラリーのリサイクルシステムの開発・導入により、 シリカ系スラリーはすでに事業化に成功し、 使用スラリー費用の大幅なコストダウンを達成、 洗浄用純水を含めた廃液の環境対策にも大きく貢献しています。
CMPスラリーリサイクルシステムの概要と導入メリット

- シリカ系スラリーをご使用の企業様、スラリー費用を30%以上、大幅に低減できます!
- スラリー廃液量を10〜20%にしませんか! (廃液スラッジの80〜90%の削減)
商標登録
弊社が開発したCMPスラリーリサイクルシステムは 独創的かつ環境にも配慮された技術として 各方面より高い評価を頂いております。 「エコ・スラリー」“Eco Slurry”のブランド名で、 商標権を登録済みです。
株式会社キーファー・テック
〒242-0028
神奈川県大和市桜森2-16-28
【業務内容】
半導体製造装置(薬液供給装置等)
CMPスラリー・リサイクル事業
各種計測器(濃度計・水質分析計・
半導体用計測器等)
レーザー応用機器の開発








